Micro-vu Excel661系列影像测量仪

型号           Excel661UM       Excel661UC     Excel662UM     Excel662UC     Excel664UM     Excel664UC
测量行程              650x650x160mm                 650x650x250mm                 650x650x400mm
外形尺寸              1311x1604x1608mm              1311x1604x1788mm              1311x1604x2088mm
重量                      1530kg                       1550kg                          1550kg
承载重量                   100kg                        100kg                           100kg
平台材质                                                钢构
基座材质                                               花岗岩
传动方式                               Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
电控系统                                       伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆
电源系统                                   93-264 VAC, 47-63 Hz,较大10 Amp
XY 精度                Uxy=2.5+L/300μm            Uxy=2.8+L/300μm               Uxy=3.2+L/300μm
Z 精度                 Ux=2.5+L/150μm             Ux=3.0+L/150μm                Ux=3.5+L/150μm
XY 重现性                 2.5μm                         2.8μm                        3.2μm
Z 重现性                  2.5μm                         3.0μm                        3.5μm
XY 加速度                                              1000mm/S2
Z 加速度                                                500mm/S2
XY 移动速度                                             500mm/s
Z 移动速度                                              150mm/s
分辨率                                                  0.1μm
照明系统                                           表面光, 轮廓光,同轴光
光学系统/
放大倍率                             12x 光学/3x 数字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率