全自动晶圆花篮超声波清洗机

深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司

全自动晶圆花篮超声波清洗机造型美观大方，操作简单，清洗效率高，质量效果好，适应大批量生产使用。对于工艺管理使用配方方式，方便于各个参数的输入与管理，并可在设备中设计保护功能来确保操作人员及设备的。本机电控部分均采用进口件，性能，设备具有清洗速度快、生产效率高、清洗效果好、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点，是晶圆盒行业的理想清洗设备。

全自动晶圆花篮超声波清洗机特点：

清洗过程由人员控制，设备清洗由1个超声波洗剂槽、3个超声波纯水漂洗槽、及一个离心热风甩干槽。其工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动力冲击工件表面并结合清洗剂的化学去污、除油作用使工件表面干净。工作过程是由操作者将装有工件的清洗篮放入清洗槽，再由操作者同时送入各个工序段，对工件进行超声波清洗，超声波热水漂洗后出料取出工件。

全自动晶圆花篮超声波清洗机多频率超声覆盖去除不同微米级颗粒。 

结合涌流清洗，使细微颗粒与工件分离。

夹持式机械手传动，定位，运行稳定。

PLC自动控制，自动化程序高

全自动晶圆花篮超声波清洗机换能器电声转化效率高达 以上。

自动追频精度1Hz，接近水平。

自带分频扫频功能，频率可切换。 

支持485通讯和PLC远端控制（可选）。

全自动晶圆花篮超声波清洗机主要适用于批量清洗大量晶圆的情况。这种清洗设备的特点是大容量、率、稳定。操作简单，适用于在半导体生产过程的不同环节进行清洗，频繁换溶液，避免影响工作效率和生产质量。这种设备大的缺点是它的运行成本较高，需要大量的工作人员和高昂的清洗剂成本。
全自动晶圆花篮超声波清洗机适用于精细工作，需要单清洗晶圆的情况。这种清洗设备的特点是操作简便，占用空间小，使用，适用于小批量和个别晶圆清洗的情况。同时，单片清洗设备能够有效地减少对环境的污染，因为它可以重复使用溶液。
全自动晶圆花篮超声波清洗机在不同的应用场合下有着各自不同的作用。根据需要，可以灵活选择合适的清洗设备，以确保晶圆生产的质量和性能。

支持450mm直径的圆片或15”x15”方片

带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体

带化学试剂滴胶的刷子转速可调节

带LABVIEW软件的PC全自动控制

全自动晶圆花篮超声波清洗机触摸屏用户界面

机械手上下载片，带EFEM以及SMIF界面

互锁及警报装置

30”D x 26”W 的占地面积  

选配项：

化学试剂传输模块

全自动晶圆花篮超声波清洗机Piranha溶液清洗                                       

臭氧化DI水（20ppm的O3）

氢化的DI水

高压DI水

热DI水、

全自动晶圆花篮超声波清洗机溶剂和酸分离排放

IR红外加热

DI水循环机

耐火立柜