德国mlase MLI-500 / 1000 准分子激光器

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产品介绍

MLI 准分子激光器

MLI系列设备为工业应用提供直接波长的准分子激光器。当然，如果需要，基本单元可以根据个人需求进行调整。

MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光

MLase 的现代紧凑型准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，重复频达 1，000 Hz

市场上具有使用寿命和性以及拥有成本的立设备。由于光束轮廓均匀，能量稳定，适用于要求苛刻的应用。

带有附加LC的准分子激光器还可以进行主动水冷（通过生活用水或外部热交换器;无去离子水），以实现稳定的连续运行。

波长（纳米）

193 193 193 248 248 248

重复频率（赫兹）

200 500 1000 200 500 1000

稳定的

脉冲能量（mJ）

6 6 6 10 10 10

稳定平均功率（W）

1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10

脉冲稳定性（西格玛 %）

2 2 2 2 2 2

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3

光束发散（FWHM，VxHmm） 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1

脉冲长度

5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15

MLI-500 / 1000 准分子激光 LC

波长（纳米）

193 193 248 248

重复频率（赫兹）

500 1000 500 1000

稳定的脉冲能量（mJ） 6 6 10 10

稳定平均功率（W）

3,0 6,0 5,0 10

脉冲稳定性（西格玛 %）

2 2 2 2

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×3 6×3 6×3 6×3

光束发散（FWHM，VxHmm）

2×1 2×1 2×1 2×1

脉冲长度

5-10 5-10 5-15 5-15

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单位注册资金单位注册资金人民币 100 万元以下。

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