日本创技SpeedFam双面抛光研磨机/半导体平磨机/全自动打磨机

东莞市准纳光电科技有限公司

日本创技SpeedFam双面抛光研磨机/半导体平磨机/全自动打磨机介绍

硅片抛光工艺简介

硅片抛光工艺是去除抛光液中化学溶液的腐蚀和机械研磨，去除硅片表面的微米和纳米材料，改善硅片表面的形状，提高硅片表面的微粗糙度。由于抛光工艺采用抛光液，也称为化学机械抛光工艺，以下简称CMP，相应的设备称为化学机械抛光机：

抛光机的工作原理是:抛光台表面有抛光垫并旋转，硅片夹在抛光头承载器中，将抛光头承载器的运动压在抛光垫上，旋转摆动。同时，将抛光液倒入与硅片接触的抛光垫区域。抛光液中的化学溶液将硅片表面腐蚀成柔软的物质。同时，抛光液中的氧化铝等磨料作为研磨剂，在不断的化学腐蚀和机械去除的综合作用下，不断去除硅表面的细度，达到较佳的抛光效果：

抛光垫修复器是一种安装刷或端面金刚石磨轮的机构。通过旋转、向下压力和摆动，清理抛光垫表面沉积物或修复抛光垫表面，以保持抛光垫的去除率。作者介绍了抛光液、抛光垫、抛光垫修复器以及行业规模和竞争模式。

在实际工作中，抛光机有多个单面抛光机和多个双面抛光机。由于化学机械抛光工艺加工效率低，加工成本高，实际操作直径通常小于200mm硅片通常在研磨片的基础上抛光硅片的一侧。在制造过程中，一般采用多个单面抛光机，即同时在抛光台上抛光多个抛光头，以提高抛光效率，降低抛光成本：

200/300mm硅片采用多片双面抛光工艺。双面抛光机在双面研磨剂的基础上，在上下抛光盘上安装抛光垫，增加抛光液供应/回收装置，可同时进行多片抛光：

值得注意的是，后道工艺是300mm硅片加工后的表面精度要求增加，设备体积增加，因此设备的制造精度和控制精度相对较高。为降低硅片装卸操作中易碎片的风险，有300个mm双面抛光机还集成了硅片自动装载/卸载装置：

国内硅片抛光机制造商主要包括苏州赫瑞特电子和股份，国外抛光机制造商主要包括SpeedFam、日本可能越株式会社，美国PR Hoff ** n德国莱玛特沃尔特斯等。

玉静有限公司是2018年11月在中小板上市的湖南企业。公司是一家专业从事多线切割机、研磨抛光机等精密加工机床的研发、设计、生产和销售的企业。YJ-22B5L/PA双面研磨/抛光机适用于470mm硅片、化镓片、陶瓷片、石英晶体等半导体材料的双面高精度研磨或抛光。

目前，苏州赫瑞特电子已发展成为集设备、配件、工艺技术、专业服务于一体的产业链配套服务提供商。其半导体设备包括150D直径的抛光机、研磨机、减薄机、切割机等mm主要用于以下光学玻璃、硅片等双面抛光：

SpeedFam公司设备主要集中在研磨机/抛光机、倒角机和减薄机领域。单面研磨/抛光机和双面研磨/抛光机主要用于8英寸及以下硅片、蓝宝石等研磨/抛光工艺，部分型号设备可用于12英寸硅片研磨/抛光工艺。

成立于1928年12月，截至2020年2日，日本有23家，其中12家负责生产业务；海外有32家，其中17家负责生产业务。公司的业务范围包括机械加工、切割、精密设备、机器人和功能部件，收入也达到2490亿日元，其中海外销售额达到1140亿日元:

硅片倒角时，由于倒角磨轮材料的粒度，硅片边缘会有一定深度的损伤层，表面粗糙度较大。因此，为了满足后续工艺中硅片清洁度的要求，有必要对硅片边缘进行抛光。一是减少边缘粗糙度，减少边缘污染，二是消除边缘加工应力，降低硅片破裂的风险，主要用于实际应用mm硅片边缘抛光。此外，由于硅片有定位槽，硅片的倒角部分和定位槽分别抛光，因为硅片的倒角部分是斜面，边缘抛光机的功能和结构比表面抛光更复杂。

边缘倒角一般分为前、侧、背三部分，定位槽也分为前、侧、背三部分，同时存在弧过渡。在实际应用中，由于定位槽表面复杂，边缘面积小，一般采用蝴蝶抛光盘直接深入定位槽，施加抛光压力完成定位槽抛光：

抛光盘抛光硅片边缘。抛光盘是一种具有一定斜度和弧度的运动模块。模块一般由四个抛光盘组成：上斜抛光盘、下斜抛光盘和两个垂直抛光盘。它能同时实现上下和水平运动。在驱动装置下，靠近硅片边缘并施加一定的抛光压力，边缘可以在抛光液的作用下抛光。目前，可用于边缘抛光的设备制造商仍然是SpeedFam公司：

另一种边缘抛光机使用抛光桶，抛光倒角的正面和背面，然后抛光倒角的侧面。抛光桶主轴垂直，桶外附着抛光垫。抛光桶主轴可上下移动或水平移动：

在实际应用中，边缘抛光机根据四个抛光桶的结构附着在四个抛光桶的外侧，以提高抛光效率。四个抛光桶靠近硅片边缘，并在各自驱动装置的驱动下施加一定的抛光压力，以实现边缘抛光

二手机械库存明细(可租可售）

双面抛光机系列：

日本：hamai16B   speedfam16B  21B 28B  30B  40B 双面抛光研磨机

德国：Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机

国产：金研/宇晶 兰州瑞德9.6B  9S 9B  13B 15B 16B 20B

镀膜机械系列：

日本：光弛OTFC-1300/1550/2350

德国：莱宝：1100

中国台湾：龙翩LP-1400/1650/1800

韩国：韩一 1200 1600 联合2050

南光：1100/1300

检测仪器：

日本岛津：1900/2401/2550/3700分光光度计

日 立 ：2900/4000/4001/4150 光谱仪

/三次元（2010/3020/4030.......）

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切割机：

中国台湾精一异形切割机690*920

中国台湾爱玻璃切割机

日本全自动切割机

日本多切割机

日本迪思科DISCO切割机