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实验室高纯气体管道工程主要的作用是什么?

　　主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。**分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成*供气系统。

　　实验室高纯气体管道工程采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，气体管道安装厂家，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，气体管道安装怎么样，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，气体管道安装，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

气体管路施工技术要求及验收标准？

施工要求：

1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。

2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用**弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用**切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用**工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。

3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。

4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，气体管道安装哪家好，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。

5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。

6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。

7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。

8、在整个施工过程中，应注意施工安全。

(4)验收说明

施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。

以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合国家标准。

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